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HETDENHAIN海德漢光柵，測量步距為0.1 µm(分辨率達0.005 µm)，單場掃描定位精度高和移動速度快，能承受高振動頻率，支持水平安裝;

HETDENHAIN海德漢光柵型號LS187C 海德漢光柵尺 LC 493M 式直線光柵尺，測量步距為0.1 µm(分辨率達0.005 µm)，單場掃描定位精度高和移動速度快，適用于安裝空間有限處; 海德漢光柵尺 LC 183 式直線光柵尺，測量步距為0.1 µm(分辨率達0.005 µm)，單場掃描定位精度高和移動速度快，能承受高振動頻率，支持水平安裝;

海德漢HEIDENHAIN光柵尺LS-187C長1840mm LS 187 增量式直線光柵尺，測量步距為0.5 µm 具有確定溫度特性 能承受高振動頻率 支持水平安裝 單場掃描 07.08.2009 應用 numerically controlled machine tools 機械結構 全尺寸 Measuring procedures 增量式